Antecedentes del cliente
Una empresa de semiconductores sin fábrica externalizando su producción de chips de nodo avanzado.Su sala limpia existente no podía cumplir con los estrictos requisitos de vibración y pureza del aire para la litografía de inmersión de 193nm., causando pérdidas de rendimiento.
Necesidades y desafíos
· elClasificación ISO 5 (clase 100) en la superficie de la oblea.
· elControl de temperatura estricto: 22 ± 0,1 °C a través de la zona de fotolitografía.
· elTiempo de inactividad corto: Solo 1 mes disponible para modernizar la bahía existente.
Solución
· elDiseño de mini-entorno: aislado el paso con unidades de filtro de ventilador (FFU) más filtros químicos para AMC.
· elAislamiento activo de vibraciones: Bloque de inercia de hormigón + aisladores neumáticos para cumplir los criterios de VC-D.
· elHVAC de alta precisión: dos circuitos de agua refrigerada con recalentamiento, además de terminales de volumen de aire variable (VAV).
· elPaneles prefabricados: paneles de acero inoxidable fabricados fuera del emplazamiento con juntas de bloqueo de levas. Instalados durante un cierre de mantenimiento planificado completado en 25 días.
Comentarios de los clientes
Yanning entendía mejor que otros contratistas de salas limpias nuestros requisitos de herramientas.
¢ Gerente de instalaciones, cliente de semiconductores
Resumen de las actividades
Yaning se especializa en el campo de la ingeniería de salas limpias. Estamos dedicados a crear ambientes de producción limpios que mejoren directamente la eficiencia de fabricación.Nuestras soluciones modulares representan una opción ideal para zonas de producción limpias dentro del sector manufacturero.
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